בקר חיתוך הפלזמה מורכב בעיקר מהרכיבים הבאים:
מקור כוח-תדר גבוה: משמש ליצירת שדה חשמלי בתדר גבוה-;
רשת תואמת: משמשת לכוונון התפלגות השדה החשמלי בתדירות גבוהה- בתוך תא הפלזמה;
תא פלזמה: משמש ליינון מולקולות גז ויצירת פלזמה;
מערכת ואקום: מבטיחה את רמת הוואקום והיציבות של תא הפלזמה;
מערכת בקרה: משמשת לשליטה בפרמטרי פלזמה ולהשגת שליטה יציבה בתכונות החשמליות של הפלזמה.
